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以钛酸丁酯为钛源，用水热法在透明导电衬底FTO上制备金红石相TiO2纳米阵列薄膜，以AgNO3为银源，用化学还原法制备尺寸可控的金属Ag纳米颗粒，将所制备的金属Ag颗粒修饰TiO2纳米阵列薄膜．研究Ag纳米颗粒的表面修饰对Ti02纳米阵列薄膜气敏性能的影响．实验结果表明，室温下，18nm金属Ag纳米颗粒修饰后的薄膜对氢气的灵敏度增加，响应和恢复时间减小，气敏性能明显优越于修饰前的薄膜．