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在信息产业不少基础产品的制造过程中需使用多种陶瓷溅射靶材,世界陶瓷靶材的市场销售规模日益扩大.本文简要介绍了陶瓷靶材的应用分类、性能要求、制备工艺及溅射靶材制造中急需解决的主要技术问题.
陶瓷溅射靶材的发展与应用
【摘 要】
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在信息产业不少基础产品的制造过程中需使用多种陶瓷溅射靶材,世界陶瓷靶材的市场销售规模日益扩大.本文简要介绍了陶瓷靶材的应用分类、性能要求、制备工艺及溅射靶材制造中
【机 构】
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上海大学电子信息材料系,中国科学院上海硅酸盐研究所
【出 处】
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陶瓷科学与艺术
【发表日期】
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2004年1期
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