滑流边界条件下MEMS微圆盘的气体压膜阻尼分析

来源 :机械设计与研究 | 被引量 : 0次 | 上传用户:acup
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在考虑滑流边界条件的基础上,分析了微缝隙间气体流动的特性,提出了一种粘度修正的分析方法.基于微缝隙气流的粘度修正模型,分析了气体对微圆盘的压膜阻尼效应,得到微圆盘表面的压强分布、压膜阻尼力和压膜阻尼系数的解析解.通过与有限元数值解进行对比,两者结果吻合非常好,误差小于0.0468%,证实了解析解的正确.指出MEMS微圆盘的气体压膜阻尼不但与结构尺寸有关,而且与固体壁面的材质、粗糙度和光洁度等有关.
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