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微圆盘相关论文
滑流边界条件下MEMS微圆盘的气体压膜阻尼分析
在考虑滑流边界条件的基础上,分析了微缝隙间气体流动的特性,提出了一种粘度修正的分析方法.基于微缝隙气流的粘度修正模型,分析了......
期刊
滑流
气膜阻尼
压膜
微圆盘
粘度修正
slip flow
gas film damping
squeezed film
micro plate
v
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