【摘 要】
：
半导体技术随着摩尔定律,工艺尺寸逐渐缩小,浅沟槽形貌对增加低功耗产品器件间的隔离效果,降低漏电流的作用越来越敏感[1].提出一种全新的优化浅沟槽形貌,降低器件间漏电流的
【基金项目】
：
上海市软件和集成电路产业发展专项基金（2015.150204）.
论文部分内容阅读
半导体技术随着摩尔定律,工艺尺寸逐渐缩小,浅沟槽形貌对增加低功耗产品器件间的隔离效果,降低漏电流的作用越来越敏感[1].提出一种全新的优化浅沟槽形貌,降低器件间漏电流的设计理念[2]及实现方法.通过软件设计并模拟不同浅沟槽形貌下,漏电流的表现,得到顶部形貌的曲率半径对漏电流有敏感表现的结论,为降低漏电流提供指导性思想[3].后续把理论模型运用到实际工艺的优化中,菜单中在硬掩模层刻蚀步骤结束及有源区开始刻蚀前,使用高能量、高压力及大流量的重聚合物气体,形成圆滑的顶部形貌.
其他文献
分析三相不平衡的治理,使区域电网的电能质量可以得到进一步提升,降低电网在运行过程中的能量损耗,最终达到减少能源消耗,提高经济效益的目的。
随着加班现象在我国各行各业中不断地畸形发展,甚至成为“加班文化”,其背后隐藏的员工健康危机已不容小觑,严重违背了以人为本的管理理念。加班文化是指企业为了实现低成本
为了大幅度提升芯片制造工厂Fab的产能,芯片制造的Zero Bank工艺可以优化生产流程,提高线上工作效率,缩断产品周期。这一先进的新模式已全面应用于行业生产,其突破性进步和显
由于现在开关电源的速度越来越快,功率越来越高,密度越来越大,必然会产生干扰问题,我们就要解决这个干扰。干扰分为两个方面。一个是干扰其他的电器产品,电磁干扰EMI（electrom