结合傅里叶变换合成法设计均匀薄膜

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基于傅里叶变换合成法的基本原理,合成了一个K9基底上的负滤光片,合成的渐变折射率薄膜具有期望光学特性,但实际制备难度很大,因此将其细分为足够多层离散折射率的均匀薄膜,由于实际薄膜材料种类有限,不能获得任意折射率膜层,鉴于两层高低折射率薄层可近似为一层中间折射率膜层的思想,将膜系转化成一个可实际制备的膜系结构:膜系采用ZrO2和SiO2两种膜料,膜层总数为183层,经单纯形调法优化后,膜层总厚度为7.09μm,通带和截止带内平均透射比分别为97.56%和3.13%,其结果优于直接采用傅里叶方法合成的非均匀膜系,与期望透射比曲线吻合更好。说明通过这种思想设计任意光谱特性的膜系是可行的,也使傅里叶变换合成法设计的薄膜实际制备成为可能。 Based on the basic principle of Fourier transform synthesis, a negative filter was synthesized on a K9 substrate. The synthesized graded-index film had the desired optical properties, but the practical preparation was very difficult, so it was subdivided into enough layers Due to the limited types of actual thin film materials, an arbitrary refractive index film can not be obtained. In view of the idea that the two high and low refractive index thin layers can be approximated as a layer of intermediate refractive index film, the film system can be transformed into a The actual film structure: the film using ZrO2 and SiO2 two kinds of film material, the total number of layers of 183 layers, by simple shape method optimization, the total film thickness of 7.09μm, passband and cutoff band average transmittance Which are 97.56% and 3.13% respectively. The result is better than the non-uniform film system synthesized directly by Fourier method, which is in good agreement with the expected transmittance curve. It is feasible to design the film system with arbitrary spectral characteristics by this idea, and also make the actual preparation of the film designed by the Fourier transform synthesis method possible.
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