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利用真空蒸镀法在钠钙玻璃上连续蒸镀Cu／Zn／Sn金属前驱体．在氮气保护下，在550℃对前驱体进行硫化．制备出具有类黝锡矿结构的多晶CZTS薄膜．利用X射线衍射仪（XRD）、紫外-可见分光光度计（UV—VIS）、霍尔测量仪对样品进行了晶体结构、光学性质和电学性质表征．讨论了样品中预期成份比Cu／（zn＋Sn）对CZTS薄膜结构及光电特性的影响．结果表明，当Cu／（Zn＋Sn）为0．57时，薄膜具有大于10^4cm^-1光吸收系数、禁带宽度约为1.52eV、较小的电阻率和较高的电子迁移率，适合作为太阳能电池