【摘 要】
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在不锈钢柔性衬底上采用等离子体化学气相沉积（PECVD）方法制备了不同结构的n型硅薄膜,测试了在其上生长的微晶硅太阳电池的电学输出特性。发现太阳电池的开路电压随n型层的硅烷
【基金项目】
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上海市博士后科研资助计划项目（08R21420200）, 上海市引进技术的吸收与创新计划项目（07XI2-016）
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在不锈钢柔性衬底上采用等离子体化学气相沉积（PECVD）方法制备了不同结构的n型硅薄膜,测试了在其上生长的微晶硅太阳电池的电学输出特性。发现太阳电池的开路电压随n型层的硅烷浓度线形变化,短路电流密度则存在一个最优值,这与n型层引起的本征层中的孵化层和结构演变有关。将优化后的n型层应用于不锈钢柔性衬底的非晶硅/微晶硅叠层太阳电池,获得了9.28%（AM0,1353W/m2）和11.26%（AM1.5,1000W/m2）的光电转换效率。
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