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针对微机电系统(MEMS)陀螺驱动电极和感应电极之间存在寄生电容,导致驱动信号的电馈通,限制了陀螺仪的灵敏度的问题,采用一种新型驱动方式—参数激励法,可以有效改变陀螺的刚度。仿真测试表明,通过调节激励信号的参数(频率、幅度和相位),可以以可控的方式显著地减少电馈通。
基于参数激励法的MEMS陀螺电馈通抑制方法
【摘 要】
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针对微机电系统(MEMS)陀螺驱动电极和感应电极之间存在寄生电容,导致驱动信号的电馈通,限制了陀螺仪的灵敏度的问题,采用一种新型驱动方式—参数激励法,可以有效改变陀螺的刚
【机 构】
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苏州大学微纳传感技术研究中心
【出 处】
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传感器与微系统
【发表日期】
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2019年5期
【基金项目】
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国家自然科学基金重点资助项目(61434003);装备预研基金资助项目(9140A09032015)
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