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本文介绍了用图形发生器直接产生复印版时的计算机数据处理方法和有关的技术.由于采用了二维分区方法,就1k规模的MOS存储器的多晶硅掩模版来说,数据处理速度几乎和产生正版时一样;尽管曝光次数有所增加,由于分区技术相当于对坐标数据进行了优化,因此加工时间并没有增加.
用图形发生器直接产生复印版
【摘 要】
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本文介绍了用图形发生器直接产生复印版时的计算机数据处理方法和有关的技术.由于采用了二维分区方法,就1k规模的MOS存储器的多晶硅掩模版来说,数据处理速度几乎和产生正版时一样;尽管曝光次数有所增加,由于分区技术相当于对坐标数据进行了优化,因此加工时间并没有增加.
【出 处】
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微电子学与计算机
【发表日期】
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1984年02期
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