基于SAW技术的压力传感器设计研究

来源 :西南师范大学学报(自然科学版) | 被引量 : 2次 | 上传用户：duidui1314

【摘要】

：

将声表面波(SAW)传感原理引入无源无线压力传感器设计,以新型材料硅酸镓镧作为压电基片材料,将2个反射栅的相位差作为压力传感器的输出信号,从而部分消除了环境温度变化带来的影响.设计较高的声表器件中心频率(433.92 MHz附近),从而提高了传感器的灵敏度.叉指换能器(IDT)的叉指对数设计既满足抑制旁瓣的要求,又满足声表面波激发能量的要求.对SAW压力传感器件的结构进行理论分析,采用计算机软件进

【作者】

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包宋建陈文波杨文耀

【机构】

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重庆文理学院电子电气工程学院,重庆市高校新型储能器件及应用工程研究中心

【出处】

：

西南师范大学学报(自然科学版)

【发表日期】

：

2020年11期

【关键词】

：

SAW技术相位差中心频率叉指换能器压电基片 SAW technologyphase differencecentral frequencyinter d

【基金项目】

：

国家自然科学基金项目(11804038),重庆市博士后科研项目(Xm2017051),重庆市高校新型储能器件及应用工程研究中心开放课题(KF20180204).

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