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随着微电子封装的快速发展,对高速电镀工艺及设备提出了更高的要求,本文对高速电镀工艺及其与各种因素的关系进行讨论并提出应对方法.
微电子封装高速电镀工艺初探
【摘 要】
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随着微电子封装的快速发展,对高速电镀工艺及设备提出了更高的要求,本文对高速电镀工艺及其与各种因素的关系进行讨论并提出应对方法.
【机 构】
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无锡华润微电子公司封装总厂
【出 处】
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半导体技术
【发表日期】
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2003年10期
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