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为了获得性能优良的切削力测量传感器,设计了两种结构的切削力测量用镍铬合金薄膜传感器。采用相同工艺分别制作了Ti6Al4V和45钢材料的基片,并对比分析了基片的表面质量。优选出钛合金作为基底,在其上制备了所设计的两种结构的薄膜传感器样品,测量了传感器敏感栅尺寸、薄膜电阻率、电阻栅薄膜厚度、传感器电阻值,分析了传感器电阻值的影响因素。