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采用溶胶-凝胶方法制备出纯立方钙钛矿相、介电性能和漏电流特性良好的(Ba0.5Sr0.5)TiO3铁电薄膜，研究发现，随着烧结温度的升高，(Ba0.5Sr0.5)TiO3薄膜纯度和结晶度增高，介电常数提高，漏电流密度降低，在750℃进行保温1h热处理的薄膜性能较好且稳定，在室温下测得薄膜介电常数为250，介电损耗为0．030，漏电流密度为6．9×10^-8A／cm^2，较高的介电常数，较低的漏电流密度可能源于良好的纯度和结晶度，进一步研究表明，薄膜导电遵从空间电荷限制电流机制。