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本文利用深能级瞬态谱（ＤＬＴＳ），详细研究了（Ｐｔ及其硅化物）／Ｓｉ界面上存在的各种深能级缺陷中心，并分析了引起这些缺陷的原因及与界面原子结构的关系。
（Pt及其硅化物）／硅界面的深能级研究
【摘 要】
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本文利用深能级瞬态谱（ＤＬＴＳ），详细研究了（Ｐｔ及其硅化物）／Ｓｉ界面上存在的各种深能级缺陷中心，并分析了引起这些缺陷的原因及与界面原子结构的关系。
【机 构】
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中国科学院半导体研究所
【出 处】
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半导体学报
【发表日期】
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1994年3期
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