【摘 要】
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近年来,难熔金属W、Mo管材因其高熔点、高强度、热膨胀系数低、电阻率低、良好的热稳定性等优点被广泛应用于溅射镀膜行业、航空航天以及核工业领域。本文从难熔金属W、Mo管
【机 构】
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硬质合金国家重点实验室; 株洲硬质合金集团有限公司;
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近年来,难熔金属W、Mo管材因其高熔点、高强度、热膨胀系数低、电阻率低、良好的热稳定性等优点被广泛应用于溅射镀膜行业、航空航天以及核工业领域。本文从难熔金属W、Mo管材的应用着手,重点分析了目前常用的W、Mo管材的制备方法,包括挤压、锻造、旋压、热等静压、等离子喷涂、化学气相沉积(CVD)等的工艺特点、管材性能优势及应用方向,提出了今后难熔金属W、Mo管材技术研发方向。应用于平面显示、太阳能光伏等行业的大尺寸高纯Mo及Mo合金管状溅射靶材,是难熔金属W、Mo材料最为重要的高端应用发展方向;我国在大尺寸W、Mo及其合金管靶制备等方面需进一步加强相关基础研究工作与装备投入。
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