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,Aluminum incorporation efficiencies in A-and C-plane AlGaN grown by MOVPE

来源 :中国物理B（英文版） | 被引量 : 0次 | 上传用户：zmhao

【作 者】

：

Dong-Yue Han Hui-Jie Li Gui-Juan Zhao Hong-Yuan Wei Shao-Yan Yang Lian-Shan Wang 

【机 构】

：

Key Laboratory of Semiconductor Materials Science and Beijing Key Laboratory of Low Dimensional Semi

【出 处】

：

中国物理B（英文版）

【发表日期】

：

2016年4期

【关键词】

：

metalorganic chemical vapor deposition nitrides semiconducting Ⅲ-Ⅴ materials sem 

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