脉冲激光烧蚀单晶硅羽辉中粒子荷电特性

来源 :河北大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户：glc12123

【摘要】

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在室温和真空环境中,引入外加直流电场,通过脉冲激光烧蚀单晶硅靶,在与电极板和羽辉轴线平行放置的衬底上沉积了一系列薄膜.扫描电子显微镜（SEM）、拉曼（Raman）散射谱和X线衍射（XRD

【作者】

：

邓泽超胡自强丁学成褚立志王英龙

【机构】

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河北省光电信息材料重点实验室河北大学物理科学与技术学院

【出处】

：

河北大学学报(自然科学版)

【发表日期】

：

2013年6期

【关键词】

：

脉冲激光烧蚀电场成核生长动力学 pulsed laser ablation electric field dynamics of nucleation

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在室温和真空环境中,引入外加直流电场,通过脉冲激光烧蚀单晶硅靶,在与电极板和羽辉轴线平行放置的衬底上沉积了一系列薄膜.扫描电子显微镜（SEM）、拉曼（Raman）散射谱和X线衍射（XRD）谱检测结果均表明,随着电压和衬底位置的变化,均无纳米晶粒形成.结合晶粒成核生长动力学,分析得出烧蚀羽辉中只包含硅原子、带正电硅离子和带负电的电子.

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