【摘 要】
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本文提出了一种新型激光干涉仪,适用于长焦光学镜片面形的测量。利用全视场外差移相技术能够有效抑制振动、大气等环境因素对长腔干涉测量的影响的特性,采用泰曼-格林干涉仪
【机 构】
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中国科学院光电研究院; 中科院计算光学成像技术重点实验室; 中国科学院大学;
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本文提出了一种新型激光干涉仪,适用于长焦光学镜片面形的测量。利用全视场外差移相技术能够有效抑制振动、大气等环境因素对长腔干涉测量的影响的特性,采用泰曼-格林干涉仪结构,实现测量波面和参考波面的外差相干测量。研制了实验仪器设备,实验证明该方案能够较好的抑制外界振动和大气湍流对测量精度的影响,实现较高精度的长腔干涉测量,仪器的RMS(Root Mean Square,均方根)重复测量精度达到0.45‰λ。该技术可以作为长腔干涉测量的可选方案之一。
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