面形检测相关论文
非球面能够让光学系统拥有更小、更轻、更简单的结构,因此越来越多地被用于现代高质量光学。但非球面的面形复杂,对其的高精度检测......
学位
提出一种新的基于环形子孔径扫描的锥形镜面形测量方法,该方法可实现大口径、不同锥角的锥形镜面形的通用化测量。使用微动扫描台......
为解决时域相移小孔点衍射干涉仪中移相依赖昂贵压电陶瓷相移器，且长时间采集易受环境干扰影响的问题，提出一种基于偏振同步相移的小......
点衍射干涉测量技术是通过微米级圆孔衍射产生近乎理想的球面波作为参考面形,摆脱了实物参考镜面形对测量精度的限制,理论上检测精......
针对拼接干涉测量技术除了引入拼接误差,还将引入机械运动误差的问题,为此提出一种X射线反射镜的非零位干涉测量方法,无需拼接便可......
期刊
近年来,随着工业化的脚步逐渐加快,光学仪器的使用变得更加广泛、频繁,提升光学元件的面形检测技术变得尤为重要。光学元件是光学......
针对二次反射塔式太阳能热发电技术中二次反射镜面形精度要求高的特性,利用2种条纹方向正交的直条纹图案将待测面形分解为2个正交......
针对二次反射技术中二次反射镜空间尺度较大、表面反射率高的特点,利用周期性分布的彩色编码板和图像识别方法获得彩色色块虚像的......
凸非球面,尤其是离轴凸非球面的光学检验一直是非球面加工中的难点.针对离轴凸非球面光学元件加工检验困难的问题,研究了一种改进......
在光学元件的抛光阶段,通常采用干涉仪检测光学元件的面形数据,对加工工作提供指导意见。移相干涉术易受环境振动的干扰,获得的波......
研究了一种在平面干涉仪上检测大曲率球面光学零件面形的方法, 将在平面干涉仪上得到的干涉条纹通过图像预处理、快速傅里叶变换(F......
针对已有的相对角差法面形检测的原理验证装置,提出了一种具有更高稳健性的最小二乘积分面形重建算法。利用相对角差改写了经典最......
针对槽式太阳能热发电对聚光器面形检测的需求，在详细调研了太阳能聚光器面形检测现状的基础上，提出了一种基于偏折原理的太阳能槽式......
在移相干涉中，由于系统或者环境的原因会产生移相误差，进而导致面形检测产生误差。介绍了最小二乘迭代随机移相算法的基本原理，通过模......
随着科技的进步，现代干涉测量技术具有量程大、精度高、分辨率高以及操作方便等优点，在各项领域得到了广泛的应用。根据ZYGO干涉......
主要研究了一种非接触检测大曲率半径光学零件表面面形的方法,提出了在平面干涉仪上运用空间载频外差干涉术进行面形检测。该方法......
多孔径扫描波面恢复技术是一项新的高精度大孔径面形检测手段.本文从建立波面恢复精度的评价标准出发,结合实测结果进行讨论,并对......
针对在制造装配过程中,由于太阳能聚光反射镜的子镜结构尺寸过大导致面形检测效率低、精度差、检测难度高等问题,提出了一种基于激......
随着科技的快速发展,大口径光学元件被广泛地应该于多个领域,相移干涉仪作为检测大口径光学元件的主要手段,其相移干涉测量方法不......
光学自由曲面具有强大的矫正像差和优化系统结构的能力,被誉为现代光学系统的变革性元件.但是,自由曲面面形过于复杂,其高精度检测......
掠入射型光学系统广泛应用于软X射线谱段的集能与成像,掠入射镜的面形精度对于保证像斑的能量集中度尤为关键。论文介绍了掠入射X......
为保证薄板类零件的面形在检测过程中受重力影响产生的形变尽可能的小,各种支撑方法和各类支撑装置被广泛应用于薄板类零件(如机翼......
在高精度面形检测中,绝对标定是提高检测精度的重要方法。但在平面绝对标定中,无论是经典的三平板绝对检测还是旋转平移绝对检测都......
针对多光谱相机的整机设计秉承集成化、小型化和超轻质的设计理念,提出一种结合最小尺寸约束的变密度拓扑优化与多目标集成优化的......
计算全息图(CGH)技术是实现自由曲面光学检测的重要检测手段之一，为了实现一凸自由曲面的高精度面形检测、精确定位和光路对准，......
干涉测量在现有的光学元件面形检测方法中具有测量精度高的优势,应用相对广泛.但干涉仪元件的加工和装调误差会降低面形检测精度.......
随着科学技术的不断进步,光学系统朝着大口径方向不断发展,这使得大口径光学元件面形误差的检测成为首要解决的任务。子孔径拼接技......
近年来，随着光刻技术的不断发展，传统的光学加工检测技术面临着越来越多的挑战。移相点衍射干涉仪作为一种新型的高精度干涉测量仪器......
近年来,随着光刻技术的不断发展,对光刻镜头的精度要求越来越高,传统的光学检测技术面临着越来越多的挑战。移相干涉仪因其具有非......
同步辐射光源是用于产生高性能同步辐射光的大型科学装置,光束线是其重要组成部分。光束线是衔接同步辐射源与实验站的重要桥梁,其......
基于“近红外600 mm口径移相平面干涉仪”研究项目,研究了大口径平面面形检测方法、粗糙光学表面面形干涉测量方法、面形评价参数......
膜基反射镜以柔性薄膜材料为基底,具有可折叠展开、重量轻以及成本低等特点。它与传统反射镜相比具有明显的优势,可望用作大口径空......
该文采用FTP(FourierTransformProfilometry)测量目标物面形,针对已有基于FTP的测量系统的不足和面形拼接技术进行了研究.为了保证......
在光学研究领域中，非球面因其能够缩小光学系统外型尺寸，减轻仪器重量，提高光学性能，改善成像质量，因而被广泛应用于现代光学系统中。但......
该文围绕超高分辨光学成像技术及其应用的课题,开展了两个方面的研究工作一是光纤共焦扫描成像系统的研制及其应用研究.二是超快时......
刀口检测具有设备简单、成本低、检验精度高、非接触性测量无损伤、速度快等优点，但由于传统的刀口检测只能定性，不能定量的缺点，多年......
光学制造技术的发展,对大口径光学元件的面形检测提出了更新要求。阴影法和干涉法是常用的面形检测方法:阴影法设备简单、通用性强......
随着光学应用需求的提升,相应的光学检测要求也越来越高,主要体现在检测精度要求和检测口径的变化。一些应用场合大口径光学平面是......
为了优化中小型圆形反射镜在加工、镀膜、装调等阶段的检测中所需的支撑结构,以V型块支撑工作原理设计了支撑位置及支撑点夹角均可......
长程面形仪是一种高精度、非接触的大型非球面光学检测仪器,作为同步辐射光束线工程的关键检测仪器,主要用于X射线波段大尺度、非......
