MOCVD反应器的数学模型及其数值模拟

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【摘要】

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以垂直金属有机化学气相沉积(MOCVD)反应器沉积GaN为对象,建立了反应器内部数学模型.模型中包括了流动、传热和传质方程.通过应用非结构化网格划分复杂模型,在此基础上,计算

【作者】

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陈燕王贞涛罗惕乾

【机构】

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江苏大学能源与动力工程学院

【出处】

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排灌机械

【发表日期】

：

2004年4期

【关键词】

：

MOCVD反应器传质传热流动立式热量方程计算垂直金属有机化学气相沉积数值模拟 MOCVD Mathematics model Flux fi

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以垂直金属有机化学气相沉积(MOCVD)反应器沉积GaN为对象,建立了反应器内部数学模型.模型中包括了流动、传热和传质方程.通过应用非结构化网格划分复杂模型,在此基础上,计算了反应器中流场和温度场的分布.计算结果对于分析轴向对称立式MOCVD反应器中热量和动量输运现象均有普遍指导意义,为优化设计MOCVD反应器提供了理论依据.

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