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超精密气浮工件台系统是当前主流光刻机中的核心子系统,要求具有纳米级的重复定位精度和同步运动精度。这种系统所采用的气浮轴承如果设计不当,会导致系统发生微幅振动,从而影响系统精度。文章通过分析微振动的成因和影响因素,提出了相应的抑制措施,保障了超精密气浮工件台系统的精度实现。
超精密气浮工件台的微振动及其抑制
【摘 要】
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超精密气浮工件台系统是当前主流光刻机中的核心子系统,要求具有纳米级的重复定位精度和同步运动精度。这种系统所采用的气浮轴承如果设计不当,会导致系统发生微幅振动,从而
【机 构】
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清华大学精密仪器及机械学系
【出 处】
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制造技术与机床
【发表日期】
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2005年11期
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