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晶体生长系统存在着时滞和非线性，系统的稳定控制非常困难。采用模糊PID控制，根据不同的偏差绝对值和偏差变化绝对值在线自整定参数KP，KI，KD。为确保生长程式的集中发布和准确执行，系统采用基于Modbus—TCP的可编程控制器，将生长工艺发送至生产设备。数据表明晶体生长稳定，等颈误差小于±0．2mm。