【摘 要】
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提出了一种新的基于流体模型的波干涉电子密度(ne)诊断方法,在高/低气压条件下分别开展了闭式石英腔体内的氩气感应耦合等离子体放电实验,利用该方法得到了其不同功率下轴向n
【机 构】
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空军工程大学等离子体动力学国家重点实验室 西安 710038
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提出了一种新的基于流体模型的波干涉电子密度(ne)诊断方法,在高/低气压条件下分别开展了闭式石英腔体内的氩气感应耦合等离子体放电实验,利用该方法得到了其不同功率下轴向ne空间分布规律,在气压为1.33 Pa、功率为600 W时,ne峰值在轴向中心,而气压为133.32 Pa、600 W时,ne峰值偏离轴向中心向线圈侧转移,ne为10-17 /m3数量级且按梯度分布.将该方法分别与单纯流体模型下的数值模拟和朗缪尔探针诊断结果对比,发现该方法克服了流体模型的误差,保留了微波干涉诊断法的高准确性特点,弥补了微波干涉法的空间分辨率不足的缺点.
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