【摘 要】
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设计了基于聚合物材料与无机材料三维混合集成的马赫增德尔（M-Z）光波导传感器,从结构和材料方面提升器件性能。分析器件结构两臂的光波导模式特性,采用有效折射率法得出传感精
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设计了基于聚合物材料与无机材料三维混合集成的马赫增德尔（M-Z）光波导传感器,从结构和材料方面提升器件性能。分析器件结构两臂的光波导模式特性,采用有效折射率法得出传感精度曲线,优化波导尺寸为2μm×2μm（长×宽）,使其传感精度相比平面结构提升2~3倍,光束传播法模拟光场分布,模拟传感长度差为100~3 000μm时的器件输出曲线。利用多材料混合集成,通过温度控制器件的传感区间,可解决精度退化问题。
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