表面电阻测试仪测量结果的不确定度评定

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本文根据JJF1285-2011《表面电阻测试仪校准规范》、JJF1059.1-2012《测量结果不确定度评定与表示》的相关规定,使用表面电阻测试仪校准装置,介绍了表面电阻测试仪测量结果的不确定度评定步骤,最后求得的扩展不确定度为 =2.0×10-2(=2).
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