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相位测量轮廓术（PMP）是目前众多光学三维测量方法中比较成熟可靠的一种，其系统标定包括Z和（X，Y）坐标标定。在借鉴传统标定方法优缺点的基础上，提出了一种基于BP和RBF神经网络结合的PMP系统面内标定新方法，该方法将黑白棋盘图案在有效视场内沿世界坐标系Z轴多次放置，获取数据样本。在BP网络对数据样本进行训练和仿真后，利用RBF网络对误差数据进行训练和测试。实验中，BP网络训练步数仅为21步，RBF网络测试样本的平均距离误差仅为0．008mm，此方法具有较高的标定效率和标定精度。