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本文根据半导体材料薄层方块电阻的测试原理，探讨并提出了ＩＴＤ膜方块电 阻的测试条件．
ITO膜方块电阻测试条件的探讨
【摘 要】
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本文根据半导体材料薄层方块电阻的测试原理，探讨并提出了ＩＴＤ膜方块电 阻的测试条件．
【机 构】
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河南教育学院化学系!河南郑州450003,兰河南省轻工业职工大学!河南郑州450002,郑州大学建工学院材料系!河南郑州450052,郑州大学建工学院材料系!河南郑州450052,郑州大学建工学院材料
【出 处】
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河南教育学院学报(自然科学版)
【发表日期】
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2000年02期
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