【摘 要】
：
针对透射式投影物镜中由于不均匀照明产生的像散,提出了采用平面透镜作为主动光学元件以补偿像散的方法。本文对直径为Φ140mm,通光孔径为Φ120mm的平面透镜的支撑结构进行设
【机 构】
：
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室
【基金项目】
：
国家自然科学基金资助项目（40974110）
论文部分内容阅读
针对透射式投影物镜中由于不均匀照明产生的像散,提出了采用平面透镜作为主动光学元件以补偿像散的方法。本文对直径为Φ140mm,通光孔径为Φ120mm的平面透镜的支撑结构进行设计和有限元分析,分析了支撑结构的各个关键参数、镜片厚度和驱动力大小对面形的影响,得到了支撑结构的关键参数和驱动力对面形的影响规律为线性曲线,镜片厚度对面形的影响规律为指数下降曲线和不同驱动力导致的面形图。结果表明,本支撑结构在补偿像散时,面形补偿分辨率约为2nm,引入的高阶像差可以忽略,设计分析结果为投影物镜中主动光学镜片的选择和支撑结
其他文献
针对单站无源跟踪系统非线性较强、传统跟踪滤波方法收敛速度慢且容易发散的问题，提出了一种基于自适应因子化H∞滤波的单站无源跟踪算法。该算法利用sigma点转换和鲁棒H∞滤
目前常用的FBP重建算法假定用以产生投影数据的X光是单能的,而实际上X光机或加速器发出的光并不是单能的。这就造成成像过程与重建算法的不匹配,导致硬化现象的产生。本文分析了这一研究领域的各种硬化校正方法,指出对单材质物体的硬化校正来说,线性化是其中较好的方法,它能够解决硬化校正的问题。本文对已有的线性化方法进行创新发展,解决了多项式阶数选择问题,将其应用推广到锥束CT成像,并通过实验验证了改进方法的