【摘 要】
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<正> 单晶硅是电子工业重要的非金属材料。它的聚晶体是个不规则的圆棒,直径最大相差4毫米,对用户单位切片使用很不利。据说国外和国内一些单位加工单晶硅都用特殊磨床。因为
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<正> 单晶硅是电子工业重要的非金属材料。它的聚晶体是个不规则的圆棒,直径最大相差4毫米,对用户单位切片使用很不利。据说国外和国内一些单位加工单晶硅都用特殊磨床。因为单晶硅不但硬而脆,而且加工不好还会破坏原有晶格,在沈阳没有特殊磨床的条件下,很长时间不能加工,成为技术关键。我们经过多次研究试验,在半导体材料厂的大力支持下,终于成功地
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