【摘 要】
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该文采用化学溶液沉积法——高分子辅助沉积（PAD）法在多晶镍基片上成功制备了钛酸钡（BaTiO3）薄膜,并研究了前驱体溶液化学计量比对BaTiO3/Ni集成结构漏电特性和介电性能的影响。
【机 构】
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电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室成都610054,东莞电子科技大学电子信息工程研究院广东东莞5238081
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该文采用化学溶液沉积法——高分子辅助沉积（PAD）法在多晶镍基片上成功制备了钛酸钡（BaTiO3）薄膜,并研究了前驱体溶液化学计量比对BaTiO3/Ni集成结构漏电特性和介电性能的影响。实验表明,钛过量的薄膜样品可能出现二氧化钛相,适宜浓度的钛过量可以降低BaTiO3/Ni集成结构1个数量级的漏电流密度,减少介电损耗约50%,并能有效提高集成结构的介电常数。对BaTiO3薄膜的漏电流导电机制进行了分析,并对钛过量影响集成结构的漏电特性和介电性能的原因进行了讨论。
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