基于PSD的微小位移测量系统的设计

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随着科技的发展,许多的控制系统中需要自动识别微小位移.本文就是以光电位置敏感传感器PSD(Position Sensitive Detector)为核心来实现微小位移测量的.PSD传感器是一种对其感光面上入射光斑重心位置敏感的光电器件.即当入射光斑落在器件感光面的不同位置时,PSD将对应输出不同的电信号.发射红外光到被测点,遇测量表面反射的光由PSD接收,再经过滤波、放大及AVR系列单片机ATMEGA16微控制单元处理,最后显示出测量的结果.
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