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具有择尤取向的薄膜材料因弹性呈现各向异性，在利用X射线衍射法测定薄膜残余应力时，常发生d-sin2ψ测试曲线的非线性振荡，无法得到准确的应力值。本文利用Voigt、Reuss和Kroner模型计算了TiN薄膜的弹性常数随ψ角的分布在低ψ角区发生的弯曲。与实测PVD TiN薄膜的应力测试曲线的弯曲情况相似，说明丝织构的确可能造成薄膜应力测试d-sin2ψ曲线的低ψ角弯曲。