【摘 要】
：
利用电子回旋共振CVD设备的射频磁控溅射方法制备了GeSb2Te4膜,采用原子力显微镜、纳米硬度计以及侧向力显微镜考察了不同溅射功率对GeSb2Te4膜表面微观结构以及力学性能的影
【机 构】
：
江苏大学微纳米科学技术研究中心,中国矿业大学材料科学与工程学院
论文部分内容阅读
利用电子回旋共振CVD设备的射频磁控溅射方法制备了GeSb2Te4膜,采用原子力显微镜、纳米硬度计以及侧向力显微镜考察了不同溅射功率对GeSb2Te4膜表面微观结构以及力学性能的影响.结果表明:在一定的溅射功率范围内,由于薄膜生长方式从三维向二维的转化,薄膜的表面粗糙度随功率的增大而降低,而且薄膜致密度也随之提高,从而使得非晶态GeSb2Te4膜硬度和弹性模量增大.利用能量密度理论对这一现象进行了分析.另外,由于表面能等因素的影响,功率为63 W制备的GeSb2Te4膜粘附力较高,摩擦系数却较小.
其他文献
建立了一个描述液态泡沫铝合金中气泡分布随时间变化的数学模型,其中同时考虑了气泡间气体扩散和析液过程的影响,即耦合求解泡沫尺寸分布方程和一维析液方程,从而得出泡沫中
目的应用Meta分析，系统评价芬太尼透皮贴剂（简称：芬太尼）治疗中晚期癌性疼痛的临床疗效及安全性。方法采用电子检索进行文献初检，纳入芬太尼与硫酸吗啡缓释片（简称：吗啡）治疗中重度癌
不久前,我国宣布新一代人工智能发展规划全面启动实施,将用13年的时间,把我国打造成世界主要人工智能创新中心.新一代人工智能发展将如何布局？谁来引领？怎样突破？记者采访权威部
【正】 我国土家族有“歌丧哭嫁’习俗。民间风俗歌《哭嫁歌》是土家族传统婚嫁礼仪中的重要组成部分,也是土家姑娘一种“修养”,衡量姑娘才智、贤德的标准。因此,土家姑娘从
农业综合开发作为国家发展农业，特别是提高农业综合生产能力的主要综合措施，在过去17年的建设中，做出了突出的贡献，发挥了不可替代的重要作用。在农业发展的新阶段，农业综合开发将
目的探讨非诺贝特所致不良反应的一般规律及特点，以指导临床合理用药。方法检索1991年1月～2009年5月国内医药期刊报道的非诺贝特致不良反应46例，并进行统计分析。结果非诺贝特所
为提高农用车辆视觉导航系统对不同环境的适应性,研究了田间地头、天空以及树木等复杂环境对路径识别的影响.提出用一种新的中心线检测算法来取代原有的细化算法;用腐蚀算法
从膜英黄芪(Astragalus membranaceus(Fisch)Bge)的根中分离出七个单体。其中晶Ⅰ、Ⅲ-Ⅴ经鉴定分别为:Ⅰ蔗糖(Sucrose),Ⅲβ-谷甾醇(β-Sitosterol),Ⅳ、芒柄花素(Formonone
以信号系统为研究对象,创建基于BIM的信号设备三维虚拟模型,运用数据库技术对数据进行存储管理,设定数据交换接口,实现信号设备维护数据与BIM数据的交互,设计基于BIM的地铁信
随着联盟化的到来,预计2020年中国电竞生态市场规模将达到200亿元,将实现五倍的增幅。主场化激活当地电竞场馆与周边配套商圈,形成电竞商业娱乐综合体,带来巨大市场价值并推