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以正硅酸乙酯为先驱体，乙醇为溶剂，用溶胶-凝胶法在Al2O3基体上制备了SiO2无机膜，就pH、化学添加剂、热处理过程中升温速率、正硅酸乙酯和乙醇的摩尔比对无机膜质量的影响进行了研究。结果表明，pH影响正硅酸乙酯的聚合速度，从而直接关系到膜层的质量，pH为1．8时，凝胶时间最长；加入化学添加剂N，N-二甲基甲酰胺能够防止膜层龟裂；在后续加热过程中，升温速率是影响膜层质量的主要因素，控制升温速率应该分为两个阶段，在210℃之前应控制升温速率在0.5℃／min，在210～600℃应控制在1℃／min；正硅酸乙