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期刊论文
纹膜结构用于电容式硅微麦克风的研究
纹膜结构用于电容式硅微麦克风的研究
来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:dl_smh
【摘 要】
:
本文提出的一种纹膜结构单硅片微麦克风,采用了硅微机械技术,且实现了麦克风电容两电极之间的自对,大大提高了麦克风的生产效率,降低了成本。
【作 者】
:
邹泉波
刘理天
【机 构】
:
清华大学微电子学研究所
【出 处】
:
半导体学报
【发表日期】
:
1996年12期
【关键词】
:
硅微麦克风
纹膜结构
电容式
麦克风
Capacitors
Corrugated materials
Semiconducting films
Semicond
【基金项目】
:
国家自然科学基金
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本文提出的一种纹膜结构单硅片微麦克风,采用了硅微机械技术,且实现了麦克风电容两电极之间的自对,大大提高了麦克风的生产效率,降低了成本。
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