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利用ＣＦ４与ＣＨ４／ＣＦ４等离子体来处理涤沦膜，讨论了不同摩尔比的碳氟等离子体改性ＰＥＴ表面的作用机制。利用变角Ｘ光电子能谱和接触角测试技术研究了改性后ＰＥＴ表面的结构和性质。结果表明，碳氟等离子体的处理可以显著地改善了ＰＥＴ表面的憎水性，不同摩尔比的碳氟混合气体的作用机制不同，其中碳氟混合气体等离子体以聚合为主，在ＰＥＴ表面形成均匀性的改性层；而纯ＣＦ４气体则以刻蚀为主，含氟基团主要分布在ＰＥＴ