【摘 要】
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针对高表面质量精密深小孔加工需求,提出了激光与管电极电解复合加工技术(LaserSTEM),利用管电极内激光束全光导效应将激光能量高效传导至加工区域,综合采用激光-材料相互作
【机 构】
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中国科学院宁波材料技术与工程研究所
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目(51905525),浙江省自然科学基金资助项目(Q19E050013),宁波市自然科学基金资助项目(2019A610152)
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针对高表面质量精密深小孔加工需求,提出了激光与管电极电解复合加工技术(LaserSTEM),利用管电极内激光束全光导效应将激光能量高效传导至加工区域,综合采用激光-材料相互作用、电化学刻蚀及其耦合效应对材料高效去除,实现大深度小孔加工。基于Laser-STEM的加工机理,综合采用几何光学理论计算、光学仿真和试验验证的方法对激光与管电极耦合机制进行了研究,得到了激光功率和加工电压对材料去除速率与加工精度的关系,并利用Laser-STEM技术实现了深度5 mm、直径1.2 mm的小孔高效加工。
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