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首先分析了直线超声电机在不同驱动条件下的阶跃响应,提出将直线超声电机速度模型简化为带纯延迟的一阶惯性系统,驱动频率和相位差对电机动态参数的影响转化为所建模型时间常数、系统增益和延时间参数的变化.然后用最小二乘法辨识出模型参数与驱动频率和相位差之间的函数关系,建立了直线超声电机的调频、调相控制非线性模型,为直线超声电机高精度控制提供了模型依据.最后,通过比较直线超声电机阶跃响应的实测值与仿真值,验证了所建模型的有效性.