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本文论述了用“连续扫描法”测试平面光栅相对衍射效率仪器的工作原理,分析了原理方案必须满足的基本要求。文中还叙述了根据所分析的要求,设计研制的平面光栅衍射效率自动测试仪的仪器组成和使用结果。对四块刻槽密度不同的光栅进行重复测试,表明效率值ε0（λ）的均方误差小于2%,最大误差不超过3%。
平面光栅衍射效率自动测试仪
【摘 要】
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本文论述了用“连续扫描法”测试平面光栅相对衍射效率仪器的工作原理,分析了原理方案必须满足的基本要求。文中还叙述了根据所分析的要求,设计研制的平面光栅衍射效率自动测
【机 构】
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浙江大学光学仪器系,宁波大学应用物理系
【出 处】
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仪器仪表学报
【发表日期】
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1988年3期
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