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7月4日从包头市科技局了解到．包头稀土研究院日前与包头天骄清美稀土抛光粉有限公司签订了氧化铈新型半导体抛光液科研项目合作开发协议．标志着我国在化学机械抛光技术研发领域迈出关键步伐。
我国攻关半导体稀土抛光液
【摘 要】
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7月4日从包头市科技局了解到．包头稀土研究院日前与包头天骄清美稀土抛光粉有限公司签订了氧化铈新型半导体抛光液科研项目合作开发协议．标志着我国在化学机械抛光技术研发领域
【出 处】
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化工中间体
【发表日期】
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2010年7期
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