【摘 要】
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报道了一种对类金刚石薄膜红外透射率曲线最小二乘法拟合的方法，确定类金刚石薄膜的红外光学常数─—折射率、吸收系数以及薄膜厚度及表面粗糙度。介绍了相应的数学模型，并给出
【机 构】
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复旦大学物理系三束材料改性国家重点实验室
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报道了一种对类金刚石薄膜红外透射率曲线最小二乘法拟合的方法，确定类金刚石薄膜的红外光学常数─—折射率、吸收系数以及薄膜厚度及表面粗糙度。介绍了相应的数学模型，并给出了对类金刚石薄膜样品的实测及拟合结果。
A method of fitting the infrared transmittance curve of diamond-like carbon by the least-square method was reported to determine the infrared optical constants of diamond-like films, such as refractive index, absorption coefficient, film thickness and surface roughness. The corresponding mathematical models are introduced, and the measured and fitting results of diamond-like carbon films are given.
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