基于负温度系数的多晶硅电阻电热激励/压阻检测微桥谐振器的新型红外探测器

来源 :红外与毫米波学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：Manjay

【摘要】

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报道了一种基于负电阻温度系数的多晶硅电阻电热激励/压阻检测SiO 2/Si3N4/SixNy微桥谐振器的新型红外探测器.微桥谐振器吸收的红外辐射引起微桥温度升高,激励电阻和检测电桥

【作者】

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韩建强李森林李琰王小飞冯日盛

【机构】

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中国计量学院机电工程学院

【出处】

：

红外与毫米波学报

【发表日期】

：

2015年2期

【关键词】

：

微桥谐振器红外探测器多晶硅电阻负电阻温度系数 microbridge resonator IR detector polysilicon resist

【基金项目】

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Supported by National Natural Science Foundation of China（61076110）, Supported by Zhejiang Key Discipline of Instrument Science and Technology（JL130101）

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报道了一种基于负电阻温度系数的多晶硅电阻电热激励/压阻检测SiO 2/Si3N4/SixNy微桥谐振器的新型红外探测器.微桥谐振器吸收的红外辐射引起微桥温度升高,激励电阻和检测电桥的阻值减小,使得恒定激励电压作用下激励电阻的静态功率和惠斯登电桥的焦耳热增加,等效于增加了辐射在微桥谐振器上的红外辐射.初步的实验证实了该方案的可行性.

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