数字化精密电感测微仪的设计

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传统电感测微仪采用自感或互感变化实现微位移测量,其测量、统计和计算比较繁琐。为实现微位移的自动测量,基于PCI采集卡和C++Builder编程环境,设计了数字化精密电感测微仪,集数据测量、统计、处理等功能为一体,分辨力高、工作性能稳定,可应用于高精度微位移测量。完成了测微仪的结构、测量电路和信号接口电路等设计。并通过与激光干涉仪比对测量,验证了设计的合理性并达到精度要求。
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