N^＋注入ZnO薄膜表面性质的变化

来源 :电子元件与材料 | 被引量 : 0次 | 上传用户：zlzlzl567

【摘要】

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用直流反应磁控溅射法制备ZnO薄膜,将N+注入ZnO薄膜经快速热退火(RTA)后,通过XRD,AFM,UV-VIS-NIR分光光度计等比较了N+注入后ZnO薄膜的电阻率、导电类型、表面形貌和可见光透

【作者】

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王海燕段启亮陈泳生靳瑞敏杨仕娥卢景霄

【机构】

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郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室

【出处】

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电子元件与材料

【发表日期】

：

2005年11期

【关键词】

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无机非金属材料直流反应磁控溅射 N^+注入 P型掺杂 inorganic non-metallic materials DC reactive magnet

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用直流反应磁控溅射法制备ZnO薄膜,将N+注入ZnO薄膜经快速热退火(RTA)后,通过XRD,AFM,UV-VIS-NIR分光光度计等比较了N+注入后ZnO薄膜的电阻率、导电类型、表面形貌和可见光透过率等的变化.经不同条件处理后的ZnO薄膜均具有相同的择优取向(002).经RTA后颗粒普遍增大;N+注入后经RTA颗粒增大明显,最大有1 μm.N+注入后,使ZnO膜的导电类型由原来的n型转变为弱p型.

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