论文部分内容阅读
在ZnO的XPS分析中，ZnLMM俄歇峰能很好地指认氧化锌淀积膜中Zn的价态，结合O1s光电子峰的分析，可表征ZnO中缺氧程度。通过XPS的对比实验，表明采用氧（O）离子辅助PLD共淀积ZnO薄膜，能明显改善淀积ZnO膜的缺氧问题，降低薄膜层中的孔隙率，提高淀积ZnO薄膜质量。XPS深度剖析结果还表明采用O离子辅助PLD共淀积后膜层中Zn的氧化组分和孔隙率随深度变化平缓。