【摘 要】
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美国Vibrometer公司最近研制成功了一种微型二线压力传感器,它是由一片薄片作成。薄片上用积分微电子技术喷镀上金属敏感元件。这种微型压力传感器结构简单,输出电流很高为4
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美国Vibrometer公司最近研制成功了一种微型二线压力传感器,它是由一片薄片作成。薄片上用积分微电子技术喷镀上金属敏感元件。这种微型压力传感器结构简单,输出电流很高为4
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