【摘 要】
：
沉积速率是影响薄膜性能的重要参数,直接影响着薄膜质量的优劣.本文采用磁控溅射方法,在玻璃基底上沉积钛膜.通过对比研究了平衡磁控溅射和非平衡磁控溅射两种工作模式下,靶
论文部分内容阅读
沉积速率是影响薄膜性能的重要参数,直接影响着薄膜质量的优劣.本文采用磁控溅射方法,在玻璃基底上沉积钛膜.通过对比研究了平衡磁控溅射和非平衡磁控溅射两种工作模式下,靶基距、氩气流量等工艺参数对沉积速率的影响,同时测试了非平衡磁控溅射线圈励磁电流大小变化对薄膜沉积速率的影响.结果表明:磁控溅射源以非平衡模式工作时,线圈励磁电流在60～180 A范围内,沉积速率随励磁电流的调整而变化;磁控溅射薄膜沉积速率随靶基距的增大而下降;相同工艺条件下,非平衡模式下薄膜沉积速率高于平衡模式,且更易受到氩气流量变化的影响.
其他文献
近年来，随着煤矿现代化建设步伐加快，新设备、新工艺广泛使用，机电设备在煤矿安全生产中占据着越来越重要的地位。同时，由于煤矿生产条件和生产环节的复杂性、多样性，给机电设备管
在我国社会主义市场经济发展的过程中，供电企业为了使其自身的市场竞争能力得到进一步的提高，使其经济效益的增长，就将许多新型的用电应用管理的方法应用到其中。本文通过对供电
目的 观察天麻钩藤饮在难治性高血压患者中的临床疗效.方法 在降压西药已使用3种及以上药物,剂量适宜,配伍合理,血压仍不达标,加以天麻钩藤饮加减治疗患者32例.结果 血压控制
目的总结经腹膜外入路腹腔镜前列腺癌根治术的临床体会。方法回顾性分析2010年10月至2011年12月,采用四孔经腹膜外入路行腹腔镜前列腺癌根治术治疗局限性前列腺癌患者16例的
为了将WorldFIP现场总线技术引进到现场测量控制仪表通信中,以现场底层测量控制仪表差压变送器为代表,介绍了具有现场总线通信机制的智能化仪表的开发方法。首先介绍了现场总线智能差压变送器相对与传统4~20mA差压变送器各方面具有的优势,然后对该差压变送器工作原理、整体结构做出详细介绍。其次分析了电容膜盒式差压传感器的测量特点,并针对这种传感器设计了测量模块的电路,根据测量精度和微控制器接口的要求,
利用电子背散射衍射技术检测分析了CVD自支撑金刚石薄膜侧面微区织构和孪晶,计算了{100}、{110}、{111}、{122}、{447}、{148}晶面平行薄膜表面的织构在薄膜生长过程中各阶段
采用电子背散射衍射(EBSD)技术研究了冷轧变形Pb-0.1%Ca-1.5%Sn-0.026%A1合金在退火过程中的晶界特征分布(GBCD).结果表明:经10%冷轧变形后在220℃退火72小时,合金内形成了比
介绍3种环境友好的SBR表面改性方法,它们能有效地增加SBR的表面极性,减小接触角,提高粘接强度.与传统的化学处理方法相比,它们对环境不会造成污染,同时,使施工更安全.
等规度是聚丙烯生产中质量控制的重要指标之一.湖南长盛石化公司引进的m120型核磁共振谱仪(德国布鲁克公司)具有快速、准确和环保等特点.在聚丙烯等规度中控分析中,用mq20型
目的 探讨阿米卡星鞘内注药对结核性脑膜炎患者的疗效.方法 选择结核性脑膜炎患者90例,随机分为观察组和对照组各45例,两组均采用常规抗结核药物治疗和鞘内注入结核药治疗,观