多弧离子镀TiN涂层工艺及耐蚀性研究

来源 :桂林电子科技大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:pangjunli
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为提高4Cr13马氏体不锈钢的耐蚀性,对其进行多弧离子镀处理,获得TiN涂层,并用X射线衍射仪、显微硬度计、扫描电子显微镜、电化学测量仪对涂层进行物相分析、表面形貌观察、硬度检测以及电化学腐蚀性能测试。结果表明:随着电流的增大,表面的液滴数目和尺寸增大,涂层厚度增加,薄膜硬度也增大;相结构主要为TiN,有明显的择优取向,且随着弧电流的增强,衍射峰强度略有增加。TiN试样在3.5%的NaCl溶液中耐蚀性与基体相当,在1mol/L的H2SO4溶液中的耐蚀性比基体提高了800倍。
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