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分析砂轮划片机主轴系统的装配精度,使得主轴刀盘面在工作台笛卡尔坐标系中的位置精度以及在安装砂轮刀片后,划切晶圆对划切槽质量造成的影响,如何调整刀盘的精度,降低崩边和裂角,提高划切槽的质量。
砂轮划片机主轴系统装配精度对划切槽质量的影响
【摘 要】
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分析砂轮划片机主轴系统的装配精度,使得主轴刀盘面在工作台笛卡尔坐标系中的位置精度以及在安装砂轮刀片后,划切晶圆对划切槽质量造成的影响,如何调整刀盘的精度,降低崩边和
【机 构】
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北京中电科电子装备有限公司
【出 处】
：
电子工业专用设备
【发表日期】
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2011年06期
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